光刻机

EUV光刻机何去何从?

ASML一直处于高度戒备的状态。在任何光刻转换中,ASML 都需要依赖外部的创新。

ASML 一直处于高度戒备状态。

去年,该公司两次提高了生产目标:它希望到 2025 年出货约 600 台 DUV 和 90 台 EUV 光刻机,而去年分别为不到 200 台和 35 台。在典型的一周内,数百人在 Veldhoven 开始他们的新工作。由于持续的芯片短缺,交付问题每天都在发生。更不用说像今年年初柏林工厂发生火灾这样的挫折,导致 EUV 晶圆夹具的生产暂时瘫痪。

尽管如此,Martin van den Brink 还是很满足和放松的。尽管EUV 光刻机的生产力还没有达到客户的预期,但几年来,EUV 光刻机已经成为世界上*进芯片的生产过程中不可或缺的一部分。“经过比计划多十年的努力,这让我松了一口气。”Martin van den Brink说。

最新一代的 EUV 设备——High NA 系统的开发也进展顺利。“今天下午我参观了工厂车间。那台机器是我职业生涯中的一个亮点,”van den Brink在他的办公室里说道,其中展出了一系列平版印刷制品。根据 ASML 的路线图,世界上*台High-NA 光刻机的交付日期是明年某个时候,Van den Brink 认为这个目标将会实现,尽管供应链问题仍可能会打乱时间。

事实证明,van den Brink甚至或多或少地规划了未来十年的技术路线。这可能是他对 ASML 的最后一次战略贡献,因为这位与公司并肩作战多年的高管预计将于 2024 年退休。

无论如何,现在van den Brink的任何事情似乎都是可以管理的——几乎一切照旧,对于一家组装世界上最复杂的生产机器的公司来说,这是可能的。*似乎困扰van den Brink的是他的办公椅。“看看这个烂东西。它有太多的调整选项,”他坐下时抱怨道,示范性地摇晃着扶手。

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