投资界(ID:pedaily2012)7月18日消息,据36氪获悉,无锡星微科技有限公司(以下简称“星微科技”)完成近亿元A轮融资耀途资本领投,常春藤资本、北洋海棠基金等共同投资,本轮投资由,所募资金将用于加快推进产品研发、扩大运营生产规模、加强国内外市场扩展和提升客户服务能力,推动国内半导体设备零部件领域的技术创新。

星微科技成立于2015年,主要面向半导体设备领域提供精密运动控制产品;2017年开始晶圆传输系统产品的设计研发;2019年研发生产晶圆传输系统核心产品晶圆传输机械臂;2020年起,公司的精密运动台及传输系统在半导体量检测类、泛半导体精密制造等设备实现批量出货。
高精度运动台和晶圆传输设备是半导体设备两大核心零部件,也是星微科技目前的两大主营产品。星微科技是业内少数能够同时提供两类产品的公司之一,同时也是极少数能够实现底层核心零部件自研的厂商。
对于高精度运动平台,海外厂家大多采取直销或者代理商的模式,价格贵、交付周期长、大多不支持定制化。星微科技的高精度运动台性价比更高,支持定制化,交货周期更短。对于晶圆自动化传输设备,星微科技的产品已经实现了关键核心部件的自











