据企业预警通消息，睿励科学仪器（上海）有限公司（下称睿励科学）完成近5亿元战略融资，本轮融资由金石投资和招商致远联合领投，河南资产、金信资本、鼎青投资等跟投。
本次融资主要用于进一步提升先进半导体制程用的光学量检测设备的国产替代能力，丰富产品种类，加大市场开拓力度能力。
睿励科学成立于于2005年，总部在上海张江，主要产品属于半导体质量控制设备，通俗地讲，就是用来检测作为芯片生产载体的晶圆是否合格的设备。
半导体质量控制设备分为检测设备和量测设备。检测设备用于检查晶圆是否有表面划伤、是否有颗粒污染等。量测设备用于精确判断晶圆上薄膜厚度、刻蚀深度、关键尺寸是否准确。芯片的良品率跟工艺高低、生产设备好坏有密切关系，半导体质量控制设备是芯片代工厂必不可少的。
华安证券研报指出，半导体质量控制设备的市场空间仅次于光刻机、刻蚀机和薄膜沉积设备，同时也是除光刻机外国产化率最低的一环核心设备。
权威半导体市场分析机构VLSI Research数据显示：2016年至2020年中国大陆半导体检测与量测设备市场规模的年均复合增长率为31.6%，其中2020年中国大陆半导体检测与量测设备的市场规模为21.0亿美元，同比增长24.3%。
然而，中国大陆半导体质量控制设备市场八成份额由国外厂商占据，其中科磊公司占据一半以上份额，应用材料公司、日立公司也具备相当强劲的实力。2020年，国内该类型设备国产率不足2%，国内厂家还包括中科飞测、上海精测等。
睿励科学称，其膜厚测
