TENMS?200 \300 CMP

（TENMS?200）8吋先进CMP设备，已获得SEMI认证。拥有*小的占地面积、*快的产出、更高的可靠性、功能强大和可靠的软件，具有较强的竞争力，已有7台设备装机于杭州士兰集昕、中芯国际和青岛芯恩。其中，中芯国际的Cu CMP是工艺*复杂，国内*的铜产线设备；在青岛芯恩的产线上形成了国内*整线替代。（TENMS?300）12英寸CMP设备，可以适用于90nm以下所有高端制程，属于全球首例。