项目介绍
（TENMS?200）8吋先进CMP设备，已获得SEMI认证。拥有*小的占地面积、*快的产出、更高的可靠性、功能强大和可靠的软件，具有较强的竞争力，已有7台设备装机于杭州士兰集昕、中芯国际和青岛芯恩。其中，中芯国际的Cu CMP是工艺*复杂，国内*的铜产线设备；在青岛芯恩的产线上形成了国内*整线替代。（TENMS?300）12英寸CMP设备，可以适用于90nm以下所有高端制程，属于全球首例。
公司简介
- 众硅科技由来自国际一流的半导体设备和工艺专家，国家特聘专家顾海洋博士领军，于2018年5月在杭州创立。三年来，公司集聚了一批国内外高端人才，拥有较强的专业技术研发团队，为芯片生产厂商提供一流的CMP设备、先进的工艺技术和高效的服务，立志于打造世界一流的集成电路设备公司，开发世界先进水平的高端CMP设备，加速半导体设备的国产化和产业化。
杭州市杭州众硅电子科技有限公司
