自动物料搬运系统AMHS

自动物料搬运系统Automated Material Handling System，是影响半导体晶圆厂中物料运转产能绩效和晶圆品质的关键系统。产品包括传送设备：天车OHT,协作式机器人MR、存储设备：Foup/Pod/Reticle Stocker,Reticle Cabinet,NTB,OHB，净化设备：TLP,FPS等10多个AMHS硬件设备及MCS调度软件。