项目介绍
设备型号：FY-3000S
晶圆尺寸：300mm
腔体：4~24 个腔体（可定制）；Vacuum or Grip方式；
可靠性能：Uptime≥95%；Breakage≤1/100000；MTBF≥500 hours；MTTR≤3 hours
软件控制：PC+PLC+GUI 控制, 支持EAP、FDC等功能。
晶圆尺寸：300mm
腔体：4~24 个腔体（可定制）；Vacuum or Grip方式；
可靠性能：Uptime≥95%；Breakage≤1/100000；MTBF≥500 hours；MTTR≤3 hours
软件控制：PC+PLC+GUI 控制, 支持EAP、FDC等功能。
公司简介
- 亚电科技是半导体晶圆制造行业湿法制程设备商,专注于晶圆前道湿法刻蚀清洗技术,是国内首批推进半导体高端设备国产化的企业之一。亚电的核心产品包括8吋、12吋槽式/单片湿法刻蚀清洗设备，作为一家拥有自主知识产权的高新技术企业，所有核心技术均已申请发明专利。2023年获评*专精特新小巨人企业。
泰州市江苏亚电科技股份有限公司
